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1.
半导体先进光刻理论与技术
已借6次.
订购中
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著者:
爱德曼
出版社:
化学工业出版社
出版日期: 2023
文献类型:
图书 , 索书号:
TN30/23
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内容简介
2.
光刻胶材料评测技术:从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶
订购中
(含光盘)
著者:
关口淳
出版社:
化学工业出版社
出版日期: 2024
文献类型:
图书 , 索书号:
TQ572/4
在馆信息
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内容简介
3.
光学光刻和极紫外光刻:a modeling perspective
已借3次.
订购中
(含光盘)
著者:
爱德曼
出版社:
上海科学技术出版社
出版日期: 2023
文献类型:
图书 , 索书号:
TN30/238
在馆信息
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内容简介
4.
软X射线与极紫外辐射的原理和应用
已借1次.
订购中
(含光盘)
著者:
David 阿特伍德
出版社:
科学出版社
出版日期: 2003.9
文献类型:
图书 , 索书号:
O434/2
在馆信息
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内容简介
5.
光刻技术
已借1次.
订购中
(含光盘)
著者:
林本坚
出版社:
化学工业出版社
出版日期: 2024
文献类型:
图书 , 索书号:
TN30/276
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